表面工程用靶材(裝飾工具)多弧靶及有關技術參數

      更新時間:2015-12-16 14:48:42    來源:互聯網

                                           表面工程用靶材(裝飾工具)多弧靶  

      品 名

      純度 密度  鍍膜優勢色 形狀 常規尺寸 應用行業
      鈦鋁(TiAl)合金靶 2N8-4N 3.6-4.2 玫瑰金/咖啡色 圓柱形 直 徑
      60/65/95/100*30/32/40/45mm
       裝
       飾
        /
        工
        具
      純鉻(Cr)靶 2N7-4N 7.19 白色/黑色 圓柱形
      純鈦(Ti)靶 2N8-4N 4.51 金黃色/槍黑色
      藍色/玫瑰紅
      圓柱形
      純鋯(Zr)靶 2N5-4N 6.5 金色 圓柱形
      純鋁(Al))靶 4N-5N 2.7 銀色 圓柱形
      純鎳(Ni)靶 3N-4N 8.9 金屬本色 圓柱形
      鎳釩(Ni)靶 3N 8.57 藍綠色 圓柱形
      純鈮(Nb)靶 3N 8.57 白色 圓柱形
      純鉭(Ta)靶 3N5 16.4 黑色/紫色 圓柱形
      純鉬(Mo)靶 3N5 10.2 黑色 圓柱形

      靶材的主要性能要求

        靶材的主要性能要求:
        純度
        純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業的迅速發展,硅片尺寸由6”, 8“發展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
        雜質含量
        靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。例如,半導體工業用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。
        密度
        為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。
        晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

        通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

       

      寶雞宏遠金屬——專業提供各類金屬鍍膜用靶材,質量保證價格優惠。

                             寶雞鈦材-首選寶雞宏遠金屬(鈦板/鈦棒/鈦靶/鈦絲/鈦合金/鈦管/鈦設備等各類金屬材料的生產加工制造銷售)

      ? ?

      Tell your friends

      版權所有 © 2015 寶雞宏遠特種金屬材料有限公司

      日韩精品国产自在久久现线拍| 亚洲视频在线中文视频| 亚洲精品亚洲人成人网| 亚洲av永久无码精品秋霞电影影院| 婷婷精品国产亚洲AV麻豆不片| 国产精品视频久久久| 久久99精品国产99久久6| 国产亚洲人成在线影院| 国产精品一区二区久久精品| 久久精品国产99久久香蕉| 亚洲精品中文字幕无码蜜桃| 国产精品自拍一区| 男女男精品视频网站在线观看| 亚洲国产精品一区二区成人片国内 | 久久婷婷国产综合精品| 色综合久久精品中文字幕首页| 无夜精品久久久久久| 国产成人精品免费午夜app| 久久无码精品一区二区三区| 精品国产福利在线观看| 九九精品在线视频| 国产亚洲欧美精品久久久| 精品精品国产高清a毛片| 蜜臀久久99精品久久久久久小说| 国产精品天干天干在线综合| 亚洲线精品一区二区三区影音先锋| 日韩精品成人一区二区三区| 好硬好湿好爽在深一点动态图| 亚洲日本精品一区二区| 在线涩涩免费观看国产精品| 99RE8这里有精品热视频| sprd在线播放| 国产精品 一区 在线| 无码日韩精品一区二区免费暖暖 | 无码精品久久一区二区三区| 国语自产少妇精品视频蜜桃| 精品日韩欧美国产| 国产久热精品无码激情| 合区精品中文字幕| 日韩一级精品视频在线观看| 亚洲AV无码久久精品狠狠爱浪潮|